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KA Imaging X射線產品

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南京覃思科技有限公司

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美國PIE 等離子清潔、刻蝕、灰化、表面改性處理儀
全部分類
美國PIE_Tergeo等離子清潔儀

美國PIE_Tergeo等離子清潔儀

Tergeo系列臺式全自動等離子清潔儀具有清潔、灰化、刻蝕等功能,可用來清潔納米級樣品,去除光刻膠,清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤,進行煤和有機物的灰化,激活聚合物、金屬和陶瓷表面官能團,獲得表面親水性,提高鍵合強度和可印刷性,促進醫療器械生物相容性。可集成浸入式和遠程式兩種等離子源,既可清潔電鏡光闌和TEM樣品桿,也可清潔石墨烯、碳納米管、類金剛石碳和TEM載網多孔碳膜等脆弱的精細樣品。
美國PIE EM-KLEEN遠程等離子清潔儀

美國PIE EM-KLEEN遠程等離子清潔儀

用于SEM,FIB,TEM,XPS,ALD,CD-SEM,EBR,EBI,EUVL和其它高真空系統的遠程等離子清潔儀。遠程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上,控制器向遠程離子源提供射頻能量。射頻電磁場能激發等離子體,分解輸入氣體而產生氧或氫的活性基,活性基會擴散到下游的真空腔室,并與其中的污染物發生化學反應,反應產物能輕易地被抽走。遠程等離子清潔儀可同時清潔真空系統和樣品!
美國PIE多用途樣品清潔及儲存腔室

美國PIE多用途樣品清潔及儲存腔室

通過選配外部附件如:EM-KLEEN遠程控制等離子源和/或TEM樣品桿適配器,多用途腔室可配置成不同的應用。EM-KLEEN遠程等離子體源可以采用空氣、氧氣或氫氣產生氧和氫自由基,用于樣品清潔和表面活化。如果腔室配備了TEM樣品桿適配器,則可接受和清潔來自Thermo Fisher、JEOL和Hitachi的共六個TEM樣品桿,然后它還可以用作樣品桿真空儲存站。當然,EM-KLEEN等離子源也可被取下并安裝到SEM、FIB或XPS等真空腔室上
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